半導体製造装置の据付、立ち上げ、トラブルシューティングおよび解体
CVD、PVD、MO-CVDなど立ち上げ業務およびトラブルなどを対応できるエンジニアを用意しております。
テスト動作用プログラム作製および開発
パーツのリペアおよびロボットリペア用テスト動作ソフト開発
RobotおよびParts リペア事業
各種Robotのオーバーホール、Partsのリペアを行っております。ATR7,ATR8,Brooks-Pri(Pri-Robot),VHP etc
各種Alignerオーバーホール Aculiner、PRE-200、PRE-300など
各種スリットバルブのオーバーホールも行っております。SMC製、VAT製などご相談ください。
VHP Robot Soup bowl 分解ジグ等制作および販売
ご質問などございましたらお問い合わせよりお願いいたします。