半導体サービス

半導体製造装置の据付、立ち上げ、トラブルシューティングおよび解体

技術情報1


CVD、PVD、MO-CVDなど立ち上げ業務およびトラブルなどを対応できるエンジニアを用意しております。

テスト動作用プログラム作製および開発

技術情報2

パーツのリペアおよびロボットリペア用テスト動作ソフト開発

RobotおよびParts リペア事業

技術情報2

各種Robotのオーバーホール、Partsのリペアを行っております。ATR7,ATR8,Brooks-Pri(Pri-Robot),VHP etc

各種Alignerオーバーホール Aculiner、PRE-200、PRE-300など

技術情報2

各種スリットバルブのオーバーホールも行っております。SMC製、VAT製などご相談ください。

技術情報2

ご質問などございましたらお問い合わせよりお願いいたします。